
儀器型號:FE-1050T
制 造 商:納克微束
原 產(chǎn) 地:北京
更新時間:2025-10-24
高亮度場發(fā)射電子槍技術(shù)
肖特基高亮度熱場發(fā)射電子槍,最高可提供400nA落點電流,兼顧顯微成像的分辨能力和物相分析的檢測效率。
“雙物鏡”技術(shù)
FE-1050T的物鏡系統(tǒng)由兩組可以獨立控制的電磁透鏡組成,使用時可以根據(jù)用戶的觀測需求自動調(diào)整物鏡組合方式,輕松應對大視野、高景深、高分辨等多種觀測場景。
樣品臺減速技術(shù)(BDT)
可對入射電子束提供最高可達5kV的減速效果,極大增強非導電平整樣品的低電壓成像效果。
成像圖:
| 技術(shù)參數(shù) | 規(guī)格詳情 |
|---|---|
| 電子槍 | 高亮度肖特基電子槍 |
| 鏡筒技術(shù) | “雙物鏡”技術(shù)(近遠雙磁透鏡) |
| 分辨率 | 高真空:0.9nm@15kV; 1.3nm@1kV; 低真空:2.5nm@15kV |
| 放大倍率 | x2~x1,000,000 |
| 最低可成像電壓 | 30V |
| 束流 | 1pA-400nA,連續(xù)可調(diào) |
| 最大成像視野 | 80mm |
| 樣品臺行程 | X=130mm, Y=130mm, Z=95mm |
| 樣品臺傾斜角度 | -70°~+90° |
| 電子槍極限真空 | < 1.0×10^-7Pa |
| 主倉室極限真空 | < 1.0×10^-3Pa |
| 換樣時間 | < 3.5分鐘 |
| 尺寸/重量 | L×W×H:760nm×960nm×1850mm; 700kg |
高分辨機型
高分辨場發(fā)射電子光學鏡筒
分辨能力可達1.3nm@1kV,0.9nm@15kV
多工作模式
大視野、大景深、高分辨、大束流等多種工作模式
簡單易上手
簡單易懂的操作界面
新手也可以輕松駕馭的高性能場發(fā)射電鏡
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